| № | Диапазон измерения видеодатчика (XxYxZ), мм | Погрешность, мкм | Разрешение, нм |
| M-NanoCoord | 200 x 200 x 100 | E1(x,y)=(0,2+L/1000) | 1 |
* Поля, обязательные для заполнения
* Поля, обязательные для заполнения
* Поля, обязательные для заполнения
* Поля, обязательные для заполнения
* Поля, обязательные для заполнения
* Поля, обязательные для заполнения
* Поля, обязательные для заполнения