• Комбинированные бесконтактные измерения с видеосистемой и интерферометром белого света (WLI)
• Простая настройка и позиционирование с видеодатчиком
• Полная функциональность QVPAK с видеосистемой
• Расширенная функциональность с WLI-системой для оценки топографии с высоким разрешением, например, анализ шероховатости поверхности.
№ | Диапазон измерения видеодатчика (XxYxZ), мм | Диапазон измерения датчика WLI (XxYxZ), мм |
Диапазон сканирования по оси Z, мкм |
Повторяемость по оси Z |
Погрешность, мкм |
Разрешение, мкм |
363-713-10SY | 300x200x190 | 215x200x190 | 170 | 2σ ≤ 0,08 мкм |
Видеодатчик: E1(x,y)=(0,8+2L/1000) |
0,01 |
363-714-10SY | 400x400x240 | 315x400x240 | ||||
363-715-10SY | 600x650x220 | 515x650x20 |
Дополнительные принадлежности | 02ALT630 Объектив для Quick Vision WLI, A-10X 02ALT670 Объектив для Quick Vision WLI, A-25X 02ALY400 Объектив для Quick Vision WLI, A-5X |
* Поля, обязательные для заполнения
* Поля, обязательные для заполнения
* Поля, обязательные для заполнения
* Поля, обязательные для заполнения
* Поля, обязательные для заполнения
* Поля, обязательные для заполнения